大國重器|中國長城重大突破項目獲獎,全力進軍高端智造
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??? 日前,中國長城“晶圓多焦點激光隱形切割設備研發及產業化項目”入選鄭州市2020年度重大科技創新專項,為我國半導體產業升級再添新動力,也進一步夯實了中國長城高端智能制造裝備的發展實力。
??? 晶圓多焦點激光隱形切割設備由中國長城旗下鄭州軌道交通信息技術研究院(以下簡稱“鄭州軌交院”)與河南通用智能裝備有限公司聯合攻關開發,2020年5月研發成功。
??? 設備采用的激光隱形切割技術,相比傳統水切和激光表切,具有激光焦點小、無晶圓碎裂、無環境污染等優點。
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??? 產品研發成功后,鄭州軌交院組織重點行業用戶進行了設備試用,用戶反饋顯示,該款產品的切割效率、良品率均比同類競品更高。特別是與國外半導體切割智能裝備相比,鄭州軌交院主導研發的晶圓多焦點激光隱形切割設備,在焦點數量、焦點動態補償、加速度、切割速度、最大運行速度、開機率等重要參數上具有明顯優勢,可滿足不同材質切割的嚴苛工藝要求。
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??? 專家認為,我國首臺晶圓多焦點激光隱形切割設備研制成功,填補了國內空白,打破了國外對激光隱形切割技術的壟斷,標志著我國激光隱形晶圓切割技術取得實質性重大突破,對進一步提高我國智能裝備制造能力具有里程碑式的意義。
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??? 該裝備的成功研制也創立了央企、民企共扛使命,資源互補、平臺共享、集智創新的新模式,是央企、民企聯合解決國家重大智能裝備制造瓶頸問題的成功典范。